慢走絲切割平面度測(cè)量法、慢走絲切割平面度測(cè)量法 本文來(lái)源：http://hi.baidu.com/czqunji/home 申請(qǐng)人/專(zhuān)利權(quán)人：西部金屬材料股份有限公司 申請(qǐng)人地址：陜西省西安市高新區(qū)科技三路56號(hào) 發(fā)明設(shè)計(jì)人：丁旭;閆建峰;劉洋;李靜;趙娟;李聰兵;郭磊;馬琨;趙小明 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu)：中國(guó)有色金屬工業(yè)專(zhuān)利中心 慢走絲切割平面度測(cè)量法其特征在于采用非接觸式激光平面度測(cè)量?jī)x，其測(cè)量過(guò)程是用一束激光以一定角度聚集在被測(cè)工件表面，再?gòu)牧硪唤嵌葘?duì)工件表面的激光光斑進(jìn)行成像。慢走絲切割平面度測(cè)量法是對(duì)慢走絲切割鎢及鎢合金器件平面度測(cè)量方法，其測(cè)量原理是激光三角法，通過(guò)非接觸式激光平面度測(cè)量?jī)x來(lái)實(shí)現(xiàn)，其測(cè)量精度高可滿足鎢及鎢合金器件平面度小于０．０５ｍｍ的要求。