納米加工機(jī)的設(shè)計(jì)構(gòu)造解密 120,000min-1高速主軸的搭載 沙迪克納米加工機(jī)搭載了無發(fā)熱、旋轉(zhuǎn)精度高的空氣靜壓軸氣渦輪方式的主軸（120,000min-1）。 采用自動熱裝方式 沙迪克納米加工機(jī)刀具通過直接熱裝的方式安裝在主軸上。對于熱裝方式，（1）由于刀具軸部是被大面積夾持，主軸高速旋轉(zhuǎn)時(shí)對刀具的夾持力不會下降（不會松弛）；（2）具有刀具交換精度高等優(yōu)點(diǎn)。能夠自動交換15把刀具。 工件及刀具的測定功能搭載 通過使用球狀接觸探針的接觸感知法（電氣的接觸感知）測定工件位置，并利用雷射光測定刀具徑和長度。與自動刀具交換裝置的結(jié)合使用實(shí)現(xiàn)了高精度加工的自動運(yùn)轉(zhuǎn)。 無過懸的BOX構(gòu)造 沙迪克納米加工機(jī)為適應(yīng)高速、高加速度的運(yùn)轉(zhuǎn)，采用了具備高剛性、低重心、不會產(chǎn)生過懸的BOX構(gòu)造。 最小控制單位3nm 搭載了最小分解能3nm的光柵尺和AC無芯直線電機(jī)，實(shí)現(xiàn)了高精度、高響應(yīng)驅(qū)動。 能量抵消型雙直線電機(jī)驅(qū)動方式的采用 在X、Y軸上搭載了反向軸。反向軸通過與X、Y驅(qū)動軸進(jìn)行相反位相的驅(qū)動，抑制了高加速度驅(qū)動所產(chǎn)生的振動和重心位置的變化，實(shí)現(xiàn)了高精度、高效率加工。 通過促使反向軸在與加工工作臺相反的位相進(jìn)行動作，降低了重心位置的變動以及高加速度驅(qū)動中發(fā)生的振動，抑制了加工精度和加工面精度低下的現(xiàn)象。